专为半导体、光学元件、生物医药等超高洁净度环境设计,用于清洁敏感表面(如晶圆、镜头、显示屏等),确保清洁过程中无颗粒残留、无静电风险。
产品参数
海绵材质:
超细聚氨酯(PU) 或 PVA(聚乙烯醇),开孔率>95%,确保高吸液性和低摩擦清洁。
洁净度等级:符合 ISO Class 1-3 洁净室要求,颗粒释放量极低(≥0.3μm颗粒数 < 10个/cm³)。
防静电处理:表面电阻 10⁶–10⁹ Ω/sq(部分型号含碳纤维或防静电涂层)。
刷筒设计:
手柄材质:防静电PP或PEEK,无缝一体成型,避免藏污。
刷头形状:圆柱形/扁平头,适配不同清洁场景(如窄缝、平面)。
可拆卸设计:部分型号支持替换海绵头,降低成本。
参数 | 典型值 |
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吸液能力 | 吸液量达自重 5–8倍(兼容IPA、去离子水、丙酮等溶剂) |
耐化学性 | 耐强酸(如稀释氢氟酸)、耐碱(pH 1–12) |
耐温性 | -20°C 至 +80°C(PVA海绵耐温可达120°C) |
离子残留 | Cl⁻、Na⁺等关键离子 < 0.1 μg/cm²(符合SEMI标准) |
使用寿命 | 单块海绵头可重复使用 50–100次(视清洁剂和工艺强度而定) |
产品优势
场景需求 | 推荐型号特性 |
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高洁净度(Class 1) | 选择PVA海绵+激光切割边缘,颗粒释放量<5个/cm³ |
防静电环境 | 含碳纤维的导电海绵(表面电阻10⁶–10⁷ Ω/sq) |
强酸清洁(如HF) | 耐氢氟酸型PVA海绵,标注“HF Compatible” |
自动化清洁设备适配 | 标准化尺寸刷头(如Φ50mm×100mm),支持机械臂夹持 |