13913163213
产品参数
材质与结构
基材：
超细聚酯纤维（Polyester）或聚酯-尼龙混纺，纤维直径通常＜0.2μm。
部分高端型号采用导电纤维（如碳纤维交织）以控制静电。
编织工艺：
针织或水刺无纺布，密度高、无松散纤维。
无边缘设计：连续卷材，避免切割边缘的颗粒释放。
清洁性能
吸液能力：吸液速率≥5秒（1mL滴液扩散时间），吸液量≥4倍自重。
颗粒控制：
发尘量＜0.05颗粒/㎡（≥0.3μm，依据IEST-RP-CC004.3）。
非挥发性残留（NVR）＜0.1μg/cm²（SEMI标准）。
物理特性
卷轴规格：
宽度：常见100mm、200mm、300mm（可定制）。
长度：50m~200m/卷，厚度0.1~0.5mm。
抗拉强度：纵向≥50N/5cm，横向≥30N/5cm（防止断裂）。
洁净等级
ISO Class 1~2（超净型号），适用于Class 1~10级无尘室。
静电特性
表面电阻：10^4~10^9Ω（抗静电型可至10^3Ω）。
化学兼容性
耐IPA、丙酮、去离子水等，无硅、氨、卤素残留。
产品优势
|
参数 |
要求标准 | 影响环节 |
|---|---|---|
|
纤维脱落 |
≤0.1颗粒/㎡（≥0.5μm） | 晶圆良率、缺陷控制 |
|
离子残留 |
Na⁺/K⁺＜0.01μg/cm² | 防止电路腐蚀 |
|
抗静电性 |
表面电阻＜10^6Ω | 敏感元件（如GaN芯片） |
|
耐溶剂性 |
兼容DMSO、NMP等强溶剂 | 封装胶水清洁 |
连续作业：适配自动清洁设备（如卷对卷清洁机），提高半导体生产线效率。
减少污染：无二次接触（避免人手取用污染），适合高洁净度环境。
成本控制：减少更换频率，降低停机时间。
安装与裁切：
在洁净室中安装卷轴，使用无尘裁切工具避免毛边。
配合设备：
需匹配张力控制系统，防止过紧/过松导致纤维损伤。
废弃处理：
用后卷轴芯需按半导体废弃物标准回收（避免Particle shedding）。
