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产品参数
基材类型：
聚酯纤维（Polyester）：高吸液性，耐化学腐蚀，主流选择。
聚丙烯（PP）无纺布：低析出，适合超高洁净环境。
纤维素混合材料：可降解，但洁净度较低（多用于包装环节）。
纤维直径：超细纤维（0.1~0.5μm），减少划伤风险。
编织工艺：
针织：高强度，适合重复擦拭。
水刺无纺布：无纤维脱落，但吸液能力稍弱。
边缘处理：激光封边或热熔切割，颗粒释放量＜0.05/㎡（≥0.3μm）。
吸液能力：
吸液速率：1mL IPA扩散时间≤3秒（ASTM E1560标准）。
吸液量：≥3倍自重（聚酯纤维可达5倍）。
颗粒控制：
发尘量：＜0.1颗粒/㎡（IEST-RP-CC004.3 Class 10级）。
非挥发性残留（NVR）：＜0.1μg/cm²（SEMI标准）。
尺寸规格：常见4"×4"、6"×6"、9"×9"，卷筒式宽度可达12"。
克重与厚度：
克重：30~100g/㎡（半导体多用50~80g/㎡）。
厚度：0.2~0.6mm（过薄易破，过厚影响操作性）。
抗拉强度：纵向≥40N/5cm，横向≥20N/5cm（防止擦拭时撕裂）。
洁净等级：ISO Class 1~3（超净型号可达Class 1）。
静电控制：
表面电阻：10^4~10^9Ω（抗静电型需≤10^6Ω）。
化学兼容性：耐IPA、丙酮、去离子水，无硅、卤素、金属离子残留。
产品优势
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参数 |
要求标准 | 测试方法 |
|---|---|---|
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纤维脱落 |
≤0.05颗粒/㎡（≥0.5μm） | IEST-RP-CC004.3 |
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离子残留 |
Na⁺/K⁺＜0.01ppm | ICP-MS |
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吸液速率 |
≤3秒（1mL IPA扩散） | ASTM E1560 |
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抗静电性 |
表面电阻10^3~10^6Ω | ESD S11.11 |
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品牌/型号 |
材质 | 边缘处理 | NVR | 适用场景 |
|---|---|---|---|---|
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Texwipe TX304 |
聚酯针织 | 激光封边 | ＜0.05μg/cm² | 光刻机镜头清洁 |
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Berkshire MX810 |
聚酯-尼龙混纺 | 热熔切割 | ＜0.1μg/cm² | CMP抛光后擦拭 |
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Micronova M300 |
超细PP无纺布 | 激光封边 | ＜0.03μg/cm² | 3nm制程敏感区域 |
操作规范：
单向擦拭（不可来回摩擦），配合无尘溶剂（如电子级IPA）。
使用无尘手套取用，避免手部污染。
存储条件：
温度15~25℃，湿度＜60%，密封包装防尘。
兼容性测试：
新批次需在非关键区域试用，验证颗粒和残留。
